制造能力
Renishaw激光干涉仪
激光干涉仪的基本配置可以完成数控机床三轴的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量和补偿。
增加相应的测量镜组，可以完成数控机床三轴的水平和垂直方向的偏摆和俯仰角度测量，还可以完成平面度、直线度、垂直度的测量。增加回转轴组件RX10，可以实现旋转轴(A,B.,C轴)的分度精度测量和补偿。
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线性测量精度 ±0.5ppm 线性分辨率 1nm 最高移动速度 4m/s 更新环境补偿的时间 7s 动态采集频率 50KHZ 线性测量距离为标准设定 80m 预热时间 <6分钟 环境温度 0-40℃ |
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